红外测量
天准半导体红外测量系统在全球处于头部地位。系统将高性能红外相机与设计优化的红外光学结合，提供具备出色分辨率和对比度的图像，实现基板的顶部、底部和内部结构的有效测量。
主要特点
设计优化的整套红外光学系统，红外波长最高支持1500nm
支持定制适用于不同产品的自动化搬运方案
可见光和红外光组合，反射光和透射光组合
SECS/GEM
主要特点
支持定制适用于不同产品的自动化搬运方案
可见光和红外光组合，反射光和透射光组合
SECS/GEM
长期维护成本低，稳定可靠
主要特点
全自动测量
可见光和红外光组合，反射光和透射光组合
SECS/GEM
长期维护成本低，稳定可靠
